Ich stimme zu, dass diese Seite Cookies verwende. Weitere Informationen finden Sie unter unseren
Datenschutzerklärungen
.
X
Login
Merkliste (
0
)
Startseite
Über uns
Startseite Über uns
Neues aus der SuUB
Geschichte der SuUB
Bibliotheksprofil
Presseinformationen
Freundeskreis
Die Bibliothek in Zahlen
Ausstellungen
Projekte
Ausbildung, Praktika und Stellenangebote
Filme zur Staats- und Universitätsbibliothek Bremen
Service & Beratung
Startseite Service & Beratung
Ausleihe & Fernleihe
Rückgabe & Verlängerung
Schulungen & Führungen
Mein Bibliothekskonto
Bibliotheksausweis
Neu in der Bibliothek?
Informationsmaterialien, Formulare und Pläne zum Download
Öffnungszeiten
Lernort Bibliothek
PC, WLAN, Kopieren, Scannen, Drucken
Kataloge & Sammlungen
Startseite Kataloge & Sammlungen
Historische Sammlungen
Digitale Sammlungen
Fachinformationen
Standorte
Startseite Standorte
Zentrale
Juridicum
Bereichsbibliothek Wirtschaftswissenschaft
Bereichsbibliothek Physik / Elektrotechnik
Teilbibliothek Technik und Sozialwesen
Teilbibliothek Wirtschaft und Nautik
Teilbibliothek Musik
Teilbibliothek Kunst
Teilbibliothek Bremerhaven
Kontakt
Startseite Kontakt
Liste der Ansprechpartner
Open Access & Publizieren
Startseite Open Access & Publizieren
Literaturverwaltung
Literatur Publizieren
Open Access in Bremen
Toggle navigation
Efremov, Alexander
223
Ergebnisse:
Artikel (Online) X
Sortierung: Relevanz
Sortierung: Jahr
?
1
Comparative study of CF4 + X + He (X = C4F8 or C4H2F6) plas..:
Choi, Gilyoung
;
Efremov, Alexander
;
Kwon, Kwang‐Ho
Plasma Processes and Polymers. , 2024
Link:
https://doi.org/10.1002/..
?
2
Individual Effects of Various Plasma-Related Factors on the..:
Son, Hye Jun
;
Efremov, Alexander
;
Choi, Gilyoung
.
Plasma Chemistry and Plasma Processing. 44 (2023) 1 - p. 635-649 , 2023
Link:
https://doi.org/10.1007/..
?
3
Gas-phase parameters and densities of atomic species in Cl2..:
Efremov, Alexander
;
Amirov, Ildar
;
Izyumov, Mikhail
Vacuum. 207 (2023) - p. 111664 , 2023
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
4
Synthesis of a Controller Built on the Principle of Inverse..:
Efremov, Alexander
;
Bikineeva, Alexandra
;
Korzun, Fedor
..
E3S Web of Conferences. 446 (2023) - p. 05005 , 2023
Link:
https://doi.org/10.1051/..
?
5
On mechanisms to control SiO2 etching kinetics in low-power..:
Choi, Gilyoung
;
Efremov, Alexander
;
Lee, Dae-Kug
..
Vacuum. 216 (2023) - p. 112484 , 2023
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
6
On Relationships between Plasma Chemistry and Surface React..:
Baek, Seung Yong
;
Efremov, Alexander
;
Bobylev, Alexander
..
Materials. 16 (2023) 14 - p. 5043 , 2023
Link:
https://doi.org/10.3390/..
?
7
Noble gas effect on ACL etching selectivity to SiO2 films:
Choi, Gilyoung
;
Efremov, Alexander
;
Son, Hye Jun
.
Plasma Processes and Polymers. 20 (2023) 8 - p. , 2023
Link:
https://doi.org/10.1002/..
?
8
UiO-66 framework with an encapsulated spin probe: synthesis..:
Poryvaev, Artem S.
;
Larionov, Kirill P.
;
Albrekht, Yana N.
...
Physical Chemistry Chemical Physics. 25 (2023) 20 - p. 13846-13853 , 2023
Link:
https://doi.org/10.1039/..
?
9
Etching kinetics and dielectric properties of SiOC films ex..:
Oh, Younghun
;
Efremov, Alexander
;
Lee, Junmyung
...
Thin Solid Films. 749 (2022) - p. 139185 , 2022
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
10
A comparison of CF4, CBrF3 and C2Br2F4 plasmas: Physical pa..:
Miakonkikh, Andrey
;
Kuzmenko, Vitaly
;
Efremov, Alexander
.
Vacuum. 200 (2022) - p. 110991 , 2022
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
11
Vacuum polarization in uranium:
Efremov, Alexander
International Journal of Quantum Chemistry. 123 (2022) 4 - p. , 2022
Link:
https://doi.org/10.1002/..
?
12
On mechanisms influencing etching/polymerization balance in..:
Efremov, Alexander
;
Son, Hye Jun
;
Choi, Gilyoung
.
Vacuum. 206 (2022) - p. 111518 , 2022
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
13
Gas‐phase chemistry and reactive‐ion etching kinetics for s..:
Lee, Byung Jun
;
Efremov, Alexander
;
Kwon, Kwang‐Ho
Plasma Processes and Polymers. 18 (2021) 7 - p. 2000249 , 2021
Link:
https://doi.org/10.1002/..
?
14
Dry Etching Performance and Gas-Phase Parameters of C6F12O ..:
Lim, Nomin
;
Choi, Yeon Sik
;
Efremov, Alexander
.
Materials. 14 (2021) 7 - p. 1595 , 2021
Link:
https://doi.org/10.3390/..
?
15
On Relationships between Gas-Phase Chemistry and Reactive I..:
Efremov, Alexander
;
Lee, Byung Jun
;
Kwon, Kwang-Ho
Materials. 14 (2021) 6 - p. 1432 , 2021
Link:
https://doi.org/10.3390/..
1-15