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Moriya, Shigeta
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Impact of Cation Vacancies on Leakage Current on TiN/ZrO2/T..:

, In: 2022 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM),
Uedono, Akira ; Takahashi, Naomichi ; Hasunuma, Ryu... - p. 1-4 , 2022
Link: https://doi.org/10.1109/..
 
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2

Systematic Search for Stabilizing Dopants in ZrO2 and HfO2 ..:

, In: 2022 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM),
Harashima, Yosuke ; Koga, Hiroaki ; Ni, Zeyuan... - p. 1-3 , 2022
Link: https://doi.org/10.1109/..
 
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