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Popov, Evgenij
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Room- Temperature Anodic Oxidation of Silicon-on-Insulator ..:

, In: 2019 Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS),
Tyschenko, Ida ; Popov, Igor ; Spesivtsev, Evgenij. - p. 1-4 , 2019
Link: https://doi.org/10.1109/..
 
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