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Warren, Gemma Z. L.
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Introduction to Micro-/Nanofabrication:

, In: Springer Handbook of Nanotechnology; Springer Handbooks,
Rius, Gemma ; Baldi, Antoni ; Ziaie, Babak. - p. 51-86 , 2017
Link: https://doi.org/10.1007/..
 
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