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Benoit Curvers
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1
3D Simulation for Melt Laser Anneal Integration in FinFET's..:
Tabata, Toshiyuki
;
Curvers, Benoit
;
Huet, Karim
...
IEEE Journal of the Electron Devices Society. 8 (2020) - p. 1323-1327 , 2020
Link:
https://doi.org/10.1109/..
?
2
Advanced simulations on laser annealing: explosive crystall..:
, In:
2020 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)
,
Sciuto, Alberto
;
Deretzis, Ioannis
;
Fisicaro, Giuseppe
... - p. 71-74 , 2020
Link:
https://doi.org/10.23919..
?
3
Phononic transport and simulations of annealing processes i..:
Sciuto, Alberto
;
Deretzis, Ioannis
;
Fisicaro, Giuseppe
...
Physical Review Materials. 4 (2020) 5 - p. , 2020
Link:
https://doi.org/10.1103/..
?
4
(Invited) Laser Thermal Annealing for Low Thermal Budget Ap..:
Huet, Karim
;
Tabata, Toshiyuki
;
Aubin, Joris
...
ECS Transactions. 89 (2019) 3 - p. 137-153 , 2019
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
5
3D Simulation for Melt Laser Anneal Integration in FinFET's..:
Toshiyuki Tabata
;
Benoit Curvers
;
Karim Huet
...
https://ieeexplore.ieee.org/document/9223740/. , 2020
Link:
https://doi.org/10.1109/..
1-5