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Decierdo, Gregorio
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Doping-selective etching of silicon for wafer thinning in t..:

, In: 2023 IEEE 73rd Electronic Components and Technology Conference (ECTC),
Venkataraman, Nandini ; Risse, Benedikt ; Decierdo, Gregorio... - p. 1524-1530 , 2023
Link: https://doi.org/10.1109/..
 
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