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Katoh, Takeo
255
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Artikel (Online) (208)
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1
Dependence of Non-Prestonian Behavior of Ceria Slurry with ..:
Kang, Hyun-Goo
;
Kim, Dae-Hyeong
;
Katoh, Takeo
...
Japanese Journal of Applied Physics. 45 (2006) 5R - p. 3896 , 2006
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
2
The Effect of the physico-chemical properties of cellulosic..:
Kim, Sang-Kyun
;
Kim, Ye-Hwan
;
Paik, Ungyu
..
Journal of Electroceramics. 17 (2006) 2-4 - p. 835-839 , 2006
Link:
https://doi.org/10.1007/..
?
3
Effects of Abrasive Size and Surfactant Concentration on th..:
Kang, Hyun-Goo
;
Katoh, Takeo
;
Park, Hyung-Soon
..
Japanese Journal of Applied Physics. 44 (2005) 1L - p. L136 , 2005
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
4
Effect of Dispersant Addition during Ceria Abrasive Milling..:
Kang, Hyun-Goo
;
Katoh, Takeo
;
Kim, Dae-Hyung
..
Japanese Journal of Applied Physics. 44 (2005) 1L - p. L238 , 2005
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
5
A Reverse Selectivity Ceria Slurry for the Damascene Gate C..:
Kim, Sang-Kyun
;
Sohn, Hyung-Min
;
Paik, Ungyu
..
Japanese Journal of Applied Physics. 43 (2004) 11A - p. 7434-7438 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
6
Effects of Grain Size and Abrasive Size of Polycrystalline ..:
Kang, Hyun-Goo
;
Katoh, Takeo
;
Kim, Sung-Jun
...
Japanese Journal of Applied Physics. 43 (2004) 3A - p. L365-L368 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
7
Effect of Molecular Weight of Surfactant in Nano Ceria Slur..:
Kang, Hyun-Goo
;
Katoh, Takeo
;
Lee, Myung-Yoon
...
Japanese Journal of Applied Physics. 43 (2004) 8B - p. L1060 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
8
Influence of Physical Characteristics of Ceria Particles on..:
Kim, Sang-Kyun
;
Yoon, Phil-Won
;
Paik, Ungyu
..
Japanese Journal of Applied Physics. 43 (2004) 11A - p. 7427-7433 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
9
Nanotopography impact in shallow-trench isolation chemical ..:
Park, Jea-Gun
;
Katoh, Takeo
;
Paik, Ungyu
Journal of Materials Research. 19 (2004) 6 - p. 1783-1790 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1557/..
?
10
Nanotopography Impact and Non-Prestonian Behavior of Ceria ..:
Katoh, Takeo
;
Kim, Min-Seok
;
Paik, Ungyu
.
Japanese Journal of Applied Physics. 43 (2004) 2A - p. L217-L220 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
11
Dependence of Nanotopography Impact on Abrasive Size and Su..:
Kang, Hyun-Goo
;
Katoh, Takeo
;
Lee, Won-Mo
..
Japanese Journal of Applied Physics. 43 (2003) 1A/B - p. L1-L4 , 2003
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
12
Effects of the Physical Characteristics of Cerium Oxide on ..:
Kim, Sang-Kyun
;
Paik, Ungyu
;
Oh, Seong-Geun
...
Japanese Journal of Applied Physics. 42 (2003) Part 1, No. 3 - p. 1227-1230 , 2003
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
13
Effects of Abrasive Morphology and Surfactant Concentration..:
Katoh, Takeo
;
Kang, Hyun-Goo
;
Paik, Ungyu
.
Japanese Journal of Applied Physics. 42 (2003) Part 1, No. 3 - p. 1150-1153 , 2003
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
14
Effect of Slurry Surfactant on Nanotopography Impact in Che..:
Katoh, Takeo
;
Kim, Sung-Jun
;
Paik, Ungyu
.
Japanese Journal of Applied Physics. 42 (2003) Part 1, No. 9A - p. 5430-5432 , 2003
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
15
Surfactant Effect on Oxide-to-Nitride Removal Selectivity o..:
Park, Jea-Gun
;
Katoh, Takeo
;
Lee, Won-Mo
..
Japanese Journal of Applied Physics. 42 (2003) Part 1, No. 9A - p. 5420-5425 , 2003
Link:
https://doi.org/10.1143/..
1-15