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Lee, Guensuk
2
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Artikel (Online) (1)
Buchkapitel (Online) (1)
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Sortierung: Jahr
?
1
The effect of hole density variation in the PECVD reactor s..:
Lee, Guensuk
;
Sohn, Dong Kee
;
Seok, Seung Hyun
.
Vacuum. 163 (2019) - p. 37-44 , 2019
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
2
A study on film thickness control of vertical flow showerhe..:
, In:
2017 28th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)
,
Lee, Guensuk
;
Kim, Suhong
;
Seok, Seunghyun
... - p. 217-221 , 2017
Link:
https://doi.org/10.1109/..
1-2
