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Magoshi, Shunko
12
Ergebnisse:
Personensuche
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Sortierung: Relevanz
Sortierung: Jahr
?
1
Application of Extreme Ultraviolet Lithography to Test Chip..:
Tawarayama, Kazuo
;
Nakajima, Yumi
;
Kyoh, Suigen
...
Japanese Journal of Applied Physics. 50 (2011) 6S - p. 06GB08 , 2011
Link:
https://doi.org/10.7567/..
?
2
Application of Extreme Ultraviolet Lithography to Test Chip..:
Tawarayama, Kazuo
;
Nakajima, Yumi
;
Kyoh, Suigen
...
Japanese Journal of Applied Physics. 50 (2011) 6S - p. 06GB08 , 2011
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
3
Resolution Enhancement for Beyond-22-nm Node Using Extreme ..:
Tawarayama, Kazuo
;
Aoyama, Hajime
;
Matsunaga, Kentaro
...
Japanese Journal of Applied Physics. 49 (2010) 6S - p. 06GD01 , 2010
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
4
Lithographic Performance of Extreme Ultravolet Full-Field E..:
Tawarayama, Kazuo
;
Aoyama, Hajime
;
Kamo, Takashi
...
Japanese Journal of Applied Physics. 48 (2009) 6S - p. 06FA02 , 2009
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
5
Extreme Ultraviolet Lithography Using Small-Field Exposure ..:
Tawarayama, Kazuo
;
Magoshi, Shunko
;
Tanaka, Yuusuke
..
Japanese Journal of Applied Physics. 47 (2008) 6S - p. 4866 , 2008
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
6
Improved Electron-Beam/Deep-Ultraviolet Intralevel Mix-and-..:
Magoshi, Shunko
;
Niiyama, Hiromi
;
Sato, Shinji
...
Japanese Journal of Applied Physics. 38 (1999) 4R - p. 2169 , 1999
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
7
Charge-reducing Effect of Chemically Amplified Resist in El..:
Nakasugi, Tetsuro
;
Magoshi, Shunko
;
Sugihara, Kazuyoshi
..
Japanese Journal of Applied Physics. 37 (1998) 12S - p. 6756 , 1998
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
8
Contamination Charging up Effect in a Variably Shaped Elect..:
Ando, Atsushi
;
Sunaoshi, Hitoshi
;
Sato, Shinji
...
Japanese Journal of Applied Physics. 35 (1996) 12S - p. 6426 , 1996
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
9
Electron Beam Calibration Method for Character ProjectionEx..:
Hitoshi Sunaoshi, Hitoshi Sunaoshi
;
Kiyoshi Hattori, Kiyoshi Hattori
;
Jun Takamatsu, Jun Takamatsu
...
Japanese Journal of Applied Physics. 34 (1995) 12S - p. 6679 , 1995
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
10
Character Projection EB Data Conversion System Combined wit..:
Hara, Shigehiro
;
Shunko Magoshi, Shunko Magoshi
;
Kiyomi Koyama, Kiyomi Koyama
Japanese Journal of Applied Physics. 33 (1994) 12S - p. 6935 , 1994
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
11
Patterning Accuracy Estimation of Electron Beam Direct-Writ..:
Hattori, Kiyoshi
;
Magoshi, Shunko
;
Sunaoshi, Hitoshi
...
Japanese Journal of Applied Physics. 33 (1994) 12S - p. 6966 , 1994
Link:
https://doi.org/10.1143/..
?
12
High-Speed Electron Beam Data Conversion System Combining H..:
Magoshi, Shunko
;
Koyama, Kiyomi
;
Ikenaga, Osamu
...
Japanese Journal of Applied Physics. 31 (1992) 12S - p. 4257 , 1992
Link:
https://doi.org/10.1143/..
1-12