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Nádudvari, Gy.
3  Ergebnisse:
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1

Application of light scattering tomography for Si(111) samp..:

Szarvas, T. ; Pothorszky, Sz. ; Erdei, D....
Review of Scientific Instruments.  92 (2021)  5 - p. , 2021
Link: https://doi.org/10.1063/..
 
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2

Bulk micro-defect detection with low-angle illumination:

Szarvas, T. ; Molnár, G. ; Nádudvari, Gy....
Review of Scientific Instruments.  92 (2021)  4 - p. , 2021
Link: https://doi.org/10.1063/..
 
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3

Tilt angle and dose rate monitoring of low energy ion impla..:

, In: 2020 31st Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC),
Pongracz, A. ; Szivos, J. ; Ujhelyi, F.... - p. 1-4 , 2020
Link: https://doi.org/10.1109/..
 
1-3