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Design and Testing of a Micro Thermal Sensor for Non-Contac..:
Nano-Metrology and Control Laboratory, Department of Finemechanics, Tohoku University 6-6-1 Aramaki Aza Aoba, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 980-8579, Japan
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Shimizu, Yuki
;
Matsuno, Yuki
..
International Journal of Automation Technology. 11 (2017) 5 - p. 781-786 , 2017
Link:
https://doi.org/10.20965..
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