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1
Comparative measurements on atomic layer deposited Al2O3 th..:
Petrik, P.
;
Gumprecht, T.
;
Nutsch, A.
...
Thin Solid Films. 541 (2013) - p. 131-135 , 2013
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
2
Expanded beam (macro-imaging) ellipsometry:
Fried, M.
;
Juhász, G.
;
Major, C.
...
Thin Solid Films. 519 (2011) 9 - p. 2730-2736 , 2011
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
3
Characterization of damage structure in ion implanted SiC u..:
Petrik, P.
;
Zolnai, Z.
;
Polgar, O.
...
Thin Solid Films. 519 (2011) 9 - p. 2791-2794 , 2011
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
4
Application of wide angle beam spectroscopic ellipsometry f..:
Major, C.
;
Juhász, G.
;
Petrik, P.
...
Vacuum. 84 (2009) 1 - p. 119-122 , 2009
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
5
Ellipsometric characterization of nanocrystals in porous si..:
Petrik, P.
;
Fried, M.
;
Vázsonyi, É.
...
Applied Surface Science. 253 (2006) 1 - p. 200-203 , 2006
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
6
Dielectric function of disorder in high-fluence helium-impl..:
Petrik, P.
;
Fried, M.
;
Lohner, T.
...
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 253 (2006) 1-2 - p. 192-195 , 2006
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
7
Evaluation strategies for multi-layer, multi-material ellip..:
Polgár, O.
;
Petrik, P.
;
Lohner, T.
.
Applied Surface Science. 253 (2006) 1 - p. 57-64 , 2006
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
8
Optical models for cavity profiles in high-dose helium-impl..:
Petrik, P.
;
Fried, M.
;
Lohner, T.
...
Journal of Applied Physics. 97 (2005) 12 - p. , 2005
Link:
https://doi.org/10.1063/..
?
9
Depth distribution of disorder and cavities in high dose he..:
Petrik, P.
;
Cayrel, F.
;
Fried, M.
...
Thin Solid Films. 455-456 (2004) - p. 344-348 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
10
Evaluation of ellipsometric measurements using complex stra..:
Polgár, O.
;
Fried, M.
;
Lohner, T.
.
Thin Solid Films. 455-456 (2004) - p. 95-100 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
11
Ion implantation-caused damage in SiC measured by spectrosc..:
Petrik, P.
;
Shaaban, E.R.
;
Lohner, T.
...
Thin Solid Films. 455-456 (2004) - p. 239-243 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
12
Dose-dependence of ion implantation-caused damage in silico..:
Fried, M.
;
Petrik, P.
;
Lohner, T.
...
Thin Solid Films. 455-456 (2004) - p. 404-409 , 2004
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
13
Ellipsometric characterization of damage profiles using an ..:
Petrik, P.
;
Polgár, O.
;
Fried, M.
...
Journal of Applied Physics. 93 (2003) 4 - p. 1987-1990 , 2003
Link:
https://doi.org/10.1063/..
?
14
Ellipsometric characterization of oxidized porous silicon l..:
Lohner, T
;
Fried, M
;
Petrik, P
...
Materials Science and Engineering: B. 69-70 (2000) - p. 182-187 , 2000
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
15
Comparison of algorithms used for evaluation of ellipsometr..:
Polgár, O.
;
Fried, M.
;
Lohner, T.
.
Surface Science. 457 (2000) 1-2 - p. 157-177 , 2000
Link:
https://doi.org/10.1016/..
1-15