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Popuri, Ramtej
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1
Soft Chemical Mechanical Polishing Pad for Oxide CMP Applic..:
Kenchappa, N. B.
;
Popuri, Ramtej
;
Chockkalingam, Ashwin
...
ECS Journal of Solid State Science and Technology. 10 (2021) 1 - p. 014008 , 2021
Link:
https://doi.org/10.1149/..
1-1
