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Schjølberg-Henriksen, Kari
51
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OpenAccess-Volltexte (8)
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1
The Synergistic Roles of Temperature and Pressure in Thermo..:
Ambhore, Pranav
;
Mani, Karthick
;
Beekley, Brett
...
ECS Transactions. 86 (2018) 5 - p. 129-135 , 2018
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
2
Texture of Al films for wafer-level thermocompression bondi..:
Malik, Nishant
;
Venkatachalapathy, Vishnukanthan
;
Dall, Wilhelm
...
Superlattices and Microstructures. 106 (2017) - p. 216-233 , 2017
Link:
https://doi.org/10.1016/..
?
3
Characterization of interfacial morphology of low temperatu..:
Goorsky, Mark S.
;
Schjølberg-Henriksen, Kari
;
Beekley, Brett
...
Japanese Journal of Applied Physics. 57 (2017) 2S1 - p. 02BC03 , 2017
Link:
https://doi.org/10.7567/..
?
4
Low-Temperature Aluminum-Aluminum Wafer Bonding:
Rebhan, Bernhard
;
Hinterreiter, Andreas
;
Malik, Nishant
...
ECS Transactions. 75 (2016) 9 - p. 15-24 , 2016
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
5
Conductivity of high-temperature annealed silicon direct wa..:
Schjølberg-Henriksen, Kari
;
Tvedt, Lars Geir Whist
;
Gjelstad, Stein Are
...
Microsystem Technologies. 21 (2015) 5 - p. 979-985 , 2015
Link:
https://doi.org/10.1007/..
?
6
Impact of SiO2on Al–Al thermocompression wafer bonding:
Malik, Nishant
;
Schjølberg-Henriksen, Kari
;
Poppe, Erik U
..
Journal of Micromechanics and Microengineering. 25 (2015) 3 - p. 035025 , 2015
Link:
https://doi.org/10.1088/..
?
7
Electrical, Mechanical, and Hermeticity Properties of Low-T..:
Schjølberg-Henriksen, Kari
;
Malik, Nishant
;
Gundersen, Elin Vold
...
ECS Transactions. 64 (2014) 5 - p. 275-284 , 2014
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
8
Hermeticity and Reliability of Al-Al Thermocompression Wafe..:
Malik, Nisant
;
Poppe, Erik
;
Schjolberg-Henriksen, Kari
..
ECS Transactions. 64 (2014) 5 - p. 149-160 , 2014
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
9
Wafer-level Au–Au bonding in the 350–450 °C temperature ran..:
Tofteberg, Hannah R
;
Schjølberg-Henriksen, Kari
;
Fasting, Eivind J
...
Journal of Micromechanics and Microengineering. 24 (2014) 8 - p. 084002 , 2014
Link:
https://doi.org/10.1088/..
?
10
Hermeticity and Reliability of Au-Au Thermocompression Bond..:
Malik, Nisant
;
Tofteberg, Hannah
;
Poppe, Erik
..
ECS Transactions. 64 (2014) 5 - p. 167-176 , 2014
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
11
Leak Rates and Residual Gas Pressure in Cavities Sealed by ..:
Schjølberg-Henriksen, Kari
;
Malik, Nishant
;
Sandvand, Asmund
..
ECS Transactions. 64 (2014) 5 - p. 305-314 , 2014
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
12
Die shear strength as a function of bond frame geometry — A..:
, In:
2012 4th Electronic System-Integration Technology Conference
,
Tollefsen, Torleif Andre
;
Larsson, Andreas
;
Taklo, Maaike Margrete Visser
.. - p. 1-6 , 2012
Link:
https://doi.org/10.1109/..
?
13
(Invited) 3D Interconnect Technologies for Advanced MEMS/NE..:
Lietaer, Nicolas
;
Taklo, Maaike
;
Schjo̸lberg-Henriksen, Kari
.
ECS Transactions. 25 (2010) 38 - p. 87-95 , 2010
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
14
Resist evaluation for fabrication of diffractive optical el..:
Herbjørnrød, Aina
;
Schjølberg-Henriksen, Kari
;
Angelskår, Hallvard
.
Journal of Micromechanics and Microengineering. 19 (2009) 12 - p. 125022 , 2009
Link:
https://doi.org/10.1088/..
?
15
Low-temperature plasma activated bonding for a variable opt..:
Schjølberg-Henriksen, Kari
;
Moe, Sigurd
;
Taklo, Maaike M. Visser
..
Sensors and Actuators A: Physical. 142 (2008) 1 - p. 413-420 , 2008
Link:
https://doi.org/10.1016/..
1-15