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Shinoda, Kazunori
59
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Buchkapitel (Online) (1)
OpenAccess-Volltexte (14)
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Sortierung: Jahr
?
1
Isotropic atomic layer etchings of various materials by usi..:
Ohtake, Hiroto
;
Miyoshi, Nobuya
;
Shinoda, Kazunori
..
Japanese Journal of Applied Physics. 62 (2023) SG - p. SG0801 , 2023
Link:
https://doi.org/10.35848..
?
2
Thermal-cyclic atomic layer etching of cobalt with smooth e..:
Fujisaki, Sumiko
;
Yamaguchi, Yoshihide
;
Kobayashi, Hiroyuki
...
Applied Physics Letters. 121 (2022) 12 - p. , 2022
Link:
https://doi.org/10.1063/..
?
3
Dry etching of ternary metal carbide TiAlC via surface modi..:
Nguyen, Thi-Thuy-Nga
;
Shinoda, Kazunori
;
Hamamura, Hirotaka
...
Scientific Reports. 12 (2022) 1 - p. , 2022
Link:
https://doi.org/10.1038/..
?
4
Progress and perspectives in dry processes for nanoscale fe..:
Iwase, Taku
;
Kamaji, Yoshito
;
Kang, Song Yun
...
Japanese Journal of Applied Physics. 58 (2019) SE - p. SE0802 , 2019
Link:
https://doi.org/10.7567/..
?
5
Rapid thermal-cyclic atomic-layer etching of titanium nitri..:
Shinoda, Kazunori
;
Miyoshi, Nobuya
;
Kobayashi, Hiroyuki
...
Journal of Physics D: Applied Physics. 52 (2019) 47 - p. 475106 , 2019
Link:
https://doi.org/10.1088/..
?
6
Progress and perspectives in dry processes for emerging mul..:
Iwase, Taku
;
Kamaji, Yoshito
;
Kang, Song Yun
...
Japanese Journal of Applied Physics. 58 (2019) SE - p. SE0803 , 2019
Link:
https://doi.org/10.7567/..
?
7
Progress and perspectives in dry processes for leading-edge..:
Iwase, Taku
;
Kamaji, Yoshito
;
Kang, Song Yun
...
Japanese Journal of Applied Physics. 58 (2019) SE - p. SE0804 , 2019
Link:
https://doi.org/10.7567/..
?
8
(Invited) Thermal Cyclic Atomic-Level Etching of Nitride Fi..:
Shinoda, Kazunori
;
Miyoshi, Nobuya
;
Kobayashi, Hiroyuki
...
ECS Transactions. 80 (2017) 3 - p. 3-14 , 2017
Link:
https://doi.org/10.1149/..
?
9
Atomic layer etching of silicon nitride using infrared anne..:
Miyoshi, Nobuya
;
Kobayashi, Hiroyuki
;
Shinoda, Kazunori
...
Japanese Journal of Applied Physics. 56 (2017) 6S2 - p. 06HB01 , 2017
Link:
https://doi.org/10.7567/..
?
10
Thermal cyclic etching of silicon nitride using formation a..:
Shinoda, Kazunori
;
Izawa, Masaru
;
Kanekiyo, Tadamitsu
..
Applied Physics Express. 9 (2016) 10 - p. 106201 , 2016
Link:
https://doi.org/10.7567/..
?
11
Monolithically Lens-Integrated Photonic Device Arrays for C..:
Shinoda, Kazunori
;
Adachi, Koichiro
;
Lee, Yong
...
Japanese Journal of Applied Physics. 52 (2013) 2R - p. 022701 , 2013
Link:
https://doi.org/10.7567/..
?
12
Wide-Tuning-Wavelength-Range LGLC Laser with Low-Loss Dual-..:
SUZUKI, Takanori
;
ARIMOTO, Hideo
;
KITATANI, Takeshi
...
IEICE Transactions on Electronics. E95.C (2012) 7 - p. 1272-1275 , 2012
Link:
https://doi.org/10.1587/..
?
13
100-Gbps CMOS transceiver for multilane optical backplane s..:
Takemoto, Takashi
;
Yuki, Fumio
;
Yamashita, Hiroki
...
Optics Express. 19 (2011) 26 - p. B777 , 2011
Link:
https://doi.org/10.1364/..
?
14
A 35-GHz, 0.8-A/W and 26-.MU.m Misalignment Tolerance Micro..:
LEE, Yong
;
NAGATSUMA, Kazuyuki
;
HOSOMI, Kazuhiko
...
IEICE Transactions on Electronics. E94-C (2011) 1 - p. 116-119 , 2011
Link:
https://doi.org/10.1587/..
?
15
High-Speed EA-DFB Laser for 40-G and 100-Gbps:
MAKINO, Shigeki
;
SHINODA, Kazunori
;
KITATANI, Takeshi
...
IEICE Transactions on Electronics. E92-C (2009) 7 - p. 937-941 , 2009
Link:
https://doi.org/10.1587/..
1-15