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Sekundärionen-Massenspektrometrie an Silicium-Waferoberfla.. 

Auswertung von Spektren und temperaturabhängigen Spektren ... 
Egbers, Gitta , 1998
Copies:  Zentrale:Magazin 01.e.9876
 
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Strukturbreitenmessung auf photolithographischen Masken und.. 

Theorie, Einfluß der Polarisation des Lichtes und Abbildung...  PTB-Bericht, Optik ; 55
Copies:  Zentrale:Magazin bc 0557-55
 
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Wafer scale integration:

Copies:  Zentrale: a elt 697.3 m/574
 
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