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Small force metrology for AFM, stylus instruments, CMM and ..:

Brand, Uwe ; Li, Zhi ; Popadic, Radovan...
Engineering for a changing world -- 10.22032/dbt.58663 -- urn:nbn:de:gbv:ilm1-2023isc:1 -- http://uri.gbv.de/document/gvk:ppn:1869512545.  , 2023